Вступить в каталог
КОД ПРОДУКЦИИ ПО ТН ВЭД ЕАЭС
901210
Микроскопы, кроме оптических микроскопов; аппараты дифракционные
ВЕГА
Описание
Атомно-Силовой Микроскоп для микроэлектроники. Контроль пластин и полупроводниковых структур диаметром до 200 мм. Предельное качество отображения обеспечивается использованием встроенной акусто- и виброизоляции, термостабилизации, лучшей в индустрии чувствительностью оптической системы регистрации и уникальной конструкцией системы сканирования зондом, позволяющей достигать атомного разрешения в рутинных измерениях. В базовой конфигурации доступны 50+ АСМ методик, включая метод HybriD™, что позволяет проводить все ультрасовременные наномеханические, электрические и магнитные исследования. Интеллектуальный алгоритм ScanTronic™ для оптимизации одним кликом мыши параметров сканирования, позволяющий проводить совершенные измерения рельефа с использованием амплитудно-модуляционного метода независимо от опыта оператора. Автоматизированное исследование множественных образцов. Контроль образцов в любой точке поверхности с точностью позиционирования 1 мкм.